<!doctype html public "-//w3c//dtd html 4.0 transitional//en">
<html>
Morning all,
<br>    Burn box high+2-cleaning this morning.  <b>What
is happening with Tylan 1 and 2?? Nitride is at 30 don't know if we will
make it to Friday??</b>
<p>Diffusion Date: 12/17/2002
<br>Tube Name/Number Status Comments THICKNESS-Change at
<br>Tylan 1 <b>yellow Possible uniformity issue</b>
<br>Tylan 2 <b>Down tube replaced-testing??</b>
<br>Tylan 3 Up
<br>Tylan 4 Up
<br>Tylan 5-BBr3 Up
<br>Tylan 6-POCl3 Up
<br>Tylan 7-Dirty Ox Up
<br>Tylan 8-SiGe Up  <b> 6.75?</b>
<br>Tylan 9-Poly up   <b>11.3/30</b>
<br>Tylan 10-Nitride Up <b>running until shutdown unless it dies 30/30</b>
<br>Tylan 11-BPSG-LTO Up  <b> 16.9/30</b>
<br>Tylan 12-FGA Up
<br>Tystar Up  <b>16.5/30???</b>
<br>Doped Poly Down
<br>TEOS yellow
<br>Tylan 16 N/A
<br>Burn Box Up<b> Cleaned this morning</b>
<br>ZYGO Up <b>Ordered CD RW and Memory upgrade</b>
<p>GAAS 22 UP
<br>GAAS 23 UP
<p>SiH4 for furnaces   Change at 100PSI <b> Currently @340
PSI</b>
<br> 
<br> </html>