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  <meta content="text/html;charset=ISO-8859-1" http-equiv="Content-Type">
  <title></title>
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<body style="font-size: 10pt; color: rgb(0, 0, 0); font-family: Arial;"
 bgcolor="#ffffff" text="#000000">
Good Morning All,<br>
    Looking Ok this morning. Epi has wafers inside-will remove. Tylan 2
had low dep-checking it out. Tylan 3 doing temp cal. Waiting for
process on AMAT Epi.<br>
Ebeam pump is dead will replace today.  No Other problems at this time.<br>
<br>
<table x:str="" style="border-collapse: collapse; width: 429pt;"
 border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="572">
  <col style="width: 95pt;" width="127"> <col style="width: 48pt;"
 width="64"> <col style="width: 142pt;" width="189"> <col span="3"
 style="width: 48pt;" width="64"> <tbody>
    <tr style="height: 15.75pt;" height="21">
      <td class="xl24" style="height: 15.75pt; width: 95pt;" height="21"
 width="127"><a name="RANGE!A1:C29">Diffusion Mike,Ray, Ted</a></td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 142pt;"
 width="189"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Date:</td>
      <td class="xl26"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:num="39020" align="right">10/30/06</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">THICKNESS-Change
at</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tube Name/Number</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Status</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Comments</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 1</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><span
 style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>Low dep</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">down</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>temp
issues</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 4</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 5-BBr3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 6-POCl3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 7-TEOS2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>8.79/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 8-SiGe</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>7.44/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 9-Poly</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl27"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>12.81/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 10-Nitride</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>13.33/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 11-BPSG-LTO</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>testing
after quartz change</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>2.93/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 12-FGA</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"><span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><span
 style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco 1</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco 2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco Poly</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco Nitride</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Epi</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>possible
handling issues</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"> </td>
      <td><br>
      </td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td><br>
      </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Burn Box</td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">ZYGO</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;" x:str="  "><b><span
 style="">  </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">GAAS 22</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">GAAS 23</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">UP</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">SiH4 for furnaces</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td style="height: 12.75pt;" height="17"><br>
      </td>
      <td class="xl25" style="border-top: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>A on
line 675 psi</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str=" changeover working well "><b><span style=""> </span>changeover
working well<span style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
  </tbody>
</table>
<br>
</body>
</html>