<!DOCTYPE html PUBLIC "-//W3C//DTD HTML 4.01 Transitional//EN">
<html>
<head>
  <meta content="text/html;charset=ISO-8859-1" http-equiv="Content-Type">
  <title></title>
</head>
<body style="" bgcolor="#ffffff" text="#000000">
Good Morning All,<br>
    Looking OK this morning. Tylan 1 is down for reassembly. FGA 2 has
a cracked tube again.  POCl3 and BBr3 are still under observation. SiGE
is down for cylinder change it was run all day yesterday. Thermco poly
1 restarted pump. Ebeam still has beam issues. No other Major issues<br>
<br>
<table x:str="" style="border-collapse: collapse; width: 452pt;"
 border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="603">
  <col style="width: 95pt;" width="127"> <col style="width: 48pt;"
 width="64"> <col style="width: 165pt;" width="220"> <col span="3"
 style="width: 48pt;" width="64"> <tbody>
    <tr style="height: 15.75pt;" height="21">
      <td class="xl24" style="height: 15.75pt; width: 95pt;" height="21"
 width="127"><a name="RANGE!A1:C29"> </a></td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 165pt;"
 width="220"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
      <td class="xl24" style="border-left: medium none; width: 48pt;"
 width="64"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Date:</td>
      <td class="xl26"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:num="39343" align="right">9/18/07</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">THICKNESS-Change
at</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tube Name/Number</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">Status</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><span
 style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 1</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str="down ">down<span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>Tube out</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 4</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 5-BBr3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>observation</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 6-POCl3</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>smoking</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 7-TEOS2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>2.86/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 8-SiGe</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str="down ">down<span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>GeH4 MT</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>22.36/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 9-Poly</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl27"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>24.72/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 10-Nitride</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>update
log</b></td>
      <td class="xl28"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>.67/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 11-BPSG-LTO</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl30"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>12.6/30</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Tylan 12-FGA</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str="down ">down<span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>cracked
tube</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17"><span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><span
 style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco 1</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco 2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl29" style="height: 12.75pt;" height="17">Thermco 3</td>
      <td class="xl29" style="border-left: medium none;">future</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl29" style="height: 12.75pt;" height="17">Thermco4</td>
      <td class="xl29" style="border-left: medium none;">future</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="height: 12.75pt;" height="17">Thermco
Poly1</td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;">yellow</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>restarted
Pump</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco Poly2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">future</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>needs
testing</b></td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td><br>
      </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco Nitride1</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td><b><span style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"><b> </b></td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Thermco Nitride2</td>
      <td class="xl29" style="border-left: medium none;">future</td>
      <td><b><br>
      </b></td>
      <td class="xl25" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Burn Box</td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;">Up</td>
      <td class="xl25" style="border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;" x:str="  "><b><span
 style="">  </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">Ebeam</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str="down ">down<span style=""> </span></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>beam
issues</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">ZYGO</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">FGA2</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b><span
 style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
    <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
      <td class="xl25" style="border-top: medium none; height: 12.75pt;"
 height="17">SiH4 for furnaces</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;">up</td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b>A on
line 510 psi</b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"
 x:str=" changeover working well "><b><span style=""> </span>changeover
working well<span style=""> </span></b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"><b> </b></td>
      <td class="xl25"
 style="border-top: medium none; border-left: medium none;"> </td>
    </tr>
  </tbody>
</table>
<br>
</body>
</html>