<!DOCTYPE HTML PUBLIC "-//W3C//DTD HTML 4.01 Transitional//EN">
<html>
  <head>

    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=ISO-8859-1">
  </head>
  <body text="#000000" bgcolor="#ffffff">
    Good Morning All,<br>
        Looking good this morning. Epi is back together and
    conditioning. LTO is going back together. Thermco poly1 had low/no
    dep-investigating. TEOS pump out for repair. Tylan 1 controller is
    coming back from repair. Thermco BPSG needs a test after repair.
    Ebeam compressor is dead. Thermco 2 no TLC flow. No other issues at
    this time.<br>
    <br>
    <table width="626" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">
      <col style="width: 95pt;" width="127"> <col style="width: 48pt;"
        width="64"> <col style="width: 180pt;" width="240"> <col
        style="width: 48pt;" width="64"> <col style="width: 50pt;"
        width="67"> <col style="width: 48pt;" width="64"> <tbody>
        <tr style="height: 15.75pt;" height="21">
          <td class="xl66" style="height: 15.75pt; width: 95pt;"
            width="127" height="21"><a name="RANGE!A1:C30"> </a></td>
          <td class="xl66" style="border-left: medium none; width:
            48pt;" width="64"> </td>
          <td class="xl66" style="border-left: medium none; width:
            180pt;" width="240"> </td>
          <td class="xl66" style="border-left: medium none; width:
            48pt;" width="64"> </td>
          <td class="xl66" style="border-left: medium none; width:
            50pt;" width="67"> </td>
          <td class="xl66" style="border-left: medium none; width:
            48pt;" width="64"> </td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17"> </td>
          <td class="xl67" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;">Date:</td>
          <td class="xl70" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;">3/25/11</td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;">THICKNESS-Change at</td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"> </td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><span style=""> </span>Priority</td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tube Name/Number</td>
          <td class="xl67" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;">Status</td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><span style=""> </span></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"> </td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"> </td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"> </td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 1</td>
          <td><b>down</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b>mfs out
              for repair</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 2</td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 3</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 4</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 5-BBr3</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 6-POCl3</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 7-TEOS2</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>down</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>pump bad-out for repair</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>.25/30</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 8-SiGe</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl72" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>.88/30</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 9-Poly</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl73" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>20.67/30</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 10-Nitride</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b><span
                style=""> </span></b></td>
          <td class="xl74" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>9.3/30</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 11-LTO</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>down</b></td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b>pull and
              clean</b></td>
          <td class="xl72" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>0/30</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;" align="right"><b>1</b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Tylan 12-FGA</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b><span
                style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco 1</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco 2</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>yellow</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>no tlc flow</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco 3</td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b>future</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco4</td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b>future</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco Poly1</td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b>down</b></td>
          <td class="xl76"><b>NO DEP</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco Poly2</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl77" style="border-left: medium none;"><b><span
                style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco Nitride1</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl77" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Thermco bpsg</td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b>yellow</b></td>
          <td class="xl77" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span>needs test after
              repair</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl75" style="height: 12.75pt;" height="17">AMAT Epi</td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b>down</b></td>
          <td class="xl78" style="border-left: medium none;"><b>conditioning</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;" align="right"><b>2</b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl68" style="height: 12.75pt;" height="17">TEL Spa</td>
          <td class="xl75" style="border-left: medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl78" style="border-left: medium none;"><b><span
                style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt;" height="17">Burn Box</td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl76"><b><span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b><span
                style="">  </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">Ebeam</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>down</b></td>
          <td class="xl77" style="border-left: medium none;"><b>cryo
              compresssor dead</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">ZYGO</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td><b><br>
            </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl69" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">FGA2</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>up</b></td>
          <td class="xl71" style="border-left: medium none;"><b><span
                style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span></b></td>
        </tr>
        <tr style="height: 12.75pt;" height="17">
          <td class="xl67" style="height: 12.75pt; border-top: medium
            none;" height="17">SiH4 for furnaces</td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b>A on line 600 PSI</b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b><span style=""> </span>changeover working
              well<span style=""> </span></b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
          <td class="xl71" style="border-top: medium none; border-left:
            medium none;"><b> </b></td>
        </tr>
      </tbody>
    </table>
    <br>
  </body>
</html>