<!doctype html public "-//w3c//dtd html 4.0 transitional//en">
<html>
 
<br> 
<br> 
<blockquote TYPE=CITE> 
<center>
<br><b><font size=+1>Litho Equipment Status Report</font></b>
<br><b><font size=+1>12/4/02</font></b></center>

<p><b><font size=+1>AFM1.......................</font></b>
<br><b><font size=+1>AFM2.......................</font></b>
<br><b><font size=+1>BLUE M...................</font></b>
<br><b><font size=+1>DEKTAK CLEAN....</font></b>
<br><b><font size=+1>DEKTAK Au............</font></b>
<br><b><font size=+1>ELLIPSOMETER.....</font></b>
<br><b><font size=+1>ELP1.........................</font></b>
<br><b><font size=+1>ELP2.........................</font></b>
<br><b><font size=+1>EV ALIGN................poor resolution @ 1.5um</font></b>
<br><b><font size=+1>EV BONDER.............</font></b>
<br><b><font size=+1>LAUREL...................</font></b>
<br><b><font size=+1>HEADWAY2.............</font></b>
<br><b><font size=+1>KARLSUSS...............shutdown</font></b>
<br><b><font size=+1>KARLSUSS2.............</font></b>
<br><b><font size=+1>KS BONDER.............</font></b>
<br><b><font size=+1>LITHOSOLV.............</font></b>
<br><b><font size=+1>MASKSCRUB...........</font></b>
<br><b><font size=+1>NANO1......................</font></b>
<br><b><font size=+1>NANO2......................</font></b>
<br><b><font size=+1>NIKON......................</font></b>
<br><b><font size=+1>R2T2..........................</font></b>
<br><b><font size=+1>SVGCOAT.................</font></b>
<br><b><font size=+1>SVGCOAT2...............</font></b>
<br><b><font size=+1>SVGDEV....................</font></b>
<br><b><font size=+1>SVGDEV2..................</font></b>
<br><b><font size=+1>ULTRATECH............</font></b>
<br><b><font size=+1>ULTRATECH2..........</font></b>
<br><b><font size=+1>UVCURE...................</font></b>
<br><b><font size=+1>WBMISCRES............</font></b>
<br><b><font size=+1>YES OVEN................</font></b>
<br><b><font size=+1>ZYGO........................</font></b>
<br> </blockquote>
</html>