<!doctype html public "-//w3c//dtd html 4.0 transitional//en">
<html>

<blockquote TYPE=CITE> 
<center>
<p><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>Photolithography Equipment
Status Report</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>2.23.04</font></font></b></center>

<p><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>AFM1...............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>AFM2...............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>BLUE M.............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>DEKTAK CLEAN....</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>DEKTAK Au.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>ELLIPSOMETER....</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>ELP1................</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>ELP2................</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>EVALIGN...........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>EVBONDER.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>LAUREL.............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>HEADWAY2.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>KARLSUSS..........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>KARLSUSS2.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>KSBONDER..........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>LITHOSOLV.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>MASKSCRUB.........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>NANO1..............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>NANO2..............problem.
wafer stage focus</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>NIKON...............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>NIKON2..............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>RT2...................</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>SVGCOAT.............problem.
poor res SPR220-7</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>SVGCOAT2............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>SVGDEV...............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>SVGDEV2..............</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>ULTRATECH...........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>ULTRATECH2..........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>UVCURE................</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>WBMISCRES...........</font></font></b>
<br><b><font face="Comic Sans MS"><font size=+1>YES OVEN..............</font></font></b>
<br> </blockquote>
</html>